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• [미래 반도체 스타]〈19〉알엔알랩, 내년 '레이저 어닐링' 장비 첫 납품

  알엔알랩은 반도체 전공정에서 사용하는 '레이저 어닐링' 장비를 개발하는 중소기업이다. 어닐링

  www.etnews.com 2024-11-21
• 美, 中 첨단 반도체 전·후공정 옥죈다…"韓, 수출 요건 면밀히 봐야"

  반도체 제조장비의 경우 첨단 칩 제조를 위한 식각, 증착, 노광, 이온주입, 어닐링, 계측, 세정 등 주요 공정 ...

  zdnet.co.kr 2024-12-16
• 韓 반도체 장비업계, 대중국 수출 규제에도 "기회 요소 충분"

  반도체 제조장비의 경우 첨단 칩 제조를 위한 식각, 증착, 노광, 이온주입, 어닐링, 계측, 세정 등 사실상 주요...

  zdnet.co.kr 2024-12-04
• HPSP·예스티, 특허 심결 두고 입장차 '극명'…소송 연장전 돌입 예고

  어닐링이란 마치 '담금질'을 하듯 반도체 웨이퍼 표면을 가열한 후 냉각하는 공정이다. 웨이퍼는 처리 과정에서 필연...

  zdnet.co.kr 2024-11-01
• 예스티, HPSP 특허 분쟁 장기화 조짐…이달초 특허심판 재청구

  이번 분쟁은 수소 고압 어닐링 장비와 관한 것이다. 수고 고압 어닐링 장비는 반도체...

  www.edaily.co.kr 2024-11-01
• [특징주]특허소송 HPSP '승기'에 급등… 예스티 '下'

  고압수소어닐링 분야와 관련 예스티(122640)와 벌인 특허소송에서 사실상 승기를 잡았기 때문인 것으로 풀이된다....

  www.edaily.co.kr 2024-11-01
• 예스티, HPSP 특허에 '소극적 권리범위확인심판' 재심청구

  한편 예스티는 이번에 기각된 특허무효심판에 대해서도 새로운 증거를 보강하여 특허법원에 항소할 예정이라고 밝혔다.예스티는 금번 심판 각하와 재청구...

  zdnet.co.kr 2024-11-06